Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборовШишияну, Сергей; Шонтя, Виктор П.35 научная конференция студентов втузов Эстонии, Латвии, Литвы, Белоруссии и Молдовы : [Таллинн, 1991] : докдады. Секция математики [и др.]1991 / с. 31-34: ил